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 仪器设备

椭偏仪

照片
仪器中文名椭偏仪
仪器英文名Phase Modulation Ellipsometer
型号UVISEL plus
制造商Horiba
产地
购买年份
仪器负责人
可对外开放时间
安放地点
所在实验室 分子材料与纳米加工
主要规格 75w氙灯
技术指标 - 8 种微光斑尺寸,包括50um,100um,1mm三种针孔尺寸; - 最小消色差光斑为 35 μm; - 测角范围 35° - 90°; - 测量范围:Psi=0°- 90°,Delta=0°-360°; - 配置色散公式≥31个,材料模型≥300个; - 光谱范围覆盖190nm-2100nm。
功能 UVISEL椭偏仪集成多种自动功能,具有多种模型:NK模型、柯西模型、EMA模型,测量模式有基态上的非原位操作和腔体原位操作, 可以进行薄膜厚度,材料分布情况以及材料本征的特征光学参数测量,同时可拓展其他测试模组。
应用范围 薄膜光学器件特性测量,膜厚及光学参数标定。
主要附件
收费标准
检测说明 样品样品:膜层透明,衬底不透明,表面平整。
备注
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