仪器设备
匀胶机（黄光区） |
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| 仪器中文名 | 匀胶机（黄光区） |
| 仪器英文名 | Spin Coater（yellow area） |
| 型号 | WS-650MZ-23NPP |
| 制造商 | Laurell |
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| 仪器负责人 | |
| 可对外开放时间 | |
| 安放地点 | |
| 所在实验室 | 分子材料与纳米加工 |
| 主要规格 | 最大可用于直径150mm晶圆和5" × 5" (127mm × 127mm) 方片 |
| 技术指标 | 1. 衬底尺寸：5~120mm； 2. 匀胶速度1000 ~12000 rpm，加速度达7000 rps。 |
| 功能 | 通过精确可控的程序，实现自动均匀旋胶涂布，光刻图形加工前处理。 |
| 应用范围 | 紫外光刻胶、电子束光刻胶涂覆；半导体、ITO导电玻璃等表面光刻胶涂覆 |
| 主要附件 | |
| 收费标准 | |
| 检测说明 | |
| 备注 | |
