仪器设备
高真空镀膜仪 |
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| 仪器中文名 | 高真空镀膜仪 |
| 仪器英文名 | Leica EM ACE600 |
| 型号 | Leica EM ACE600 |
| 制造商 | 徕卡 |
| 产地 | 德国 |
| 购买年份 | 2016 |
| 仪器负责人 | 鞠晶 |
| 可对外开放时间 | |
| 安放地点 | AB25 |
| 所在实验室 | 电子显微镜 |
| 主要规格 | 是一款高真空镀膜仪，真空泵采用隔膜泵和涡轮分子泵，无油真空系统，真空度可达2×10-6mbar。镀膜细腻均匀。内置石英膜厚检测器，可精确控制镀膜厚度。全自动电脑控制，自动完成抽真空，镀膜，放气等全过程，一键操作。采用当下最流行的触摸屏控制，简单方便。 |
| 技术指标 | 可任选离子溅射模式，碳丝蒸发镀碳模式，碳棒（热阻）蒸发模式，电子束蒸发模式，双溅射模式，溅射-碳丝模式，溅射-碳棒模式，溅射-电子束模式，双电子束模式；专利设计脉冲式碳丝蒸发方式，可精确控制碳膜厚度；内置石英膜厚检测器，精确控制镀膜厚度，精度达0.1nm；方形样品仓专利设计，样品仓尺寸：200mm（宽）×150mm（深）×195mm（高） |
| 功能 | 是一款高真空镀膜仪，真空泵采用隔膜泵和涡轮分子泵，无油真空系统，真空度可达2×10-6mbar。镀膜细腻均匀。内置石英膜厚检测器，可精确控制镀膜厚度。全自动电脑控制，自动完成抽真空，镀膜，放气等全过程，一键操作。采用当下最流行的触摸屏控制，简单方便。 |
| 应用范围 | 仪器可选离子溅射镀金属膜，满足高分辨场发射扫描电镜的需求；可选碳丝蒸发镀碳膜，用于X-射线能谱及波谱分析，或者TEM铜网镀碳膜。 |
| 主要附件 | |
| 收费标准 | |
| 检测说明 | |
| 备注 | |
