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| 仪器中文名 | 等离子清洗机 |
| 仪器英文名 | Plasma Cleaner |
| 型号 | PDC-MG |
| 制造商 | 铭恒 |
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| 仪器负责人 | |
| 可对外开放时间 | |
| 安放地点 | |
| 所在实验室 | 分子材料与纳米加工 |
| 仪器编号 | |
| 主要规格 | 清洗舱规格：Φ165mm |
| 技术指标 | 1.工作气体：空气、氮气 2.射频输出： 6.8W、10.5W、18W三档 3.射频频率：13.56 MHz 4.数字式定时器范围：0～99.99 min 5.极限真空度：60 Pa 6.二路浮子流量计：0.2~1.5L/min量程，方便二种气体按比例混合 7.观察窗：观察清洗仓内辉光状态 |
| 功能 | 清除被清洗物表面的有机污染物 |
| 应用范围 | 多种模式应用在电敏器件处理、点焊前处理、去除有机光刻胶(灰化)，集成预处理步骤去除自然氧化层，气体与等离子体能量化学反应，达到去污目的。 |
| 主要附件 | |
| 收费标准 | |
| 检测说明 | |
| 备注 |
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