| 照片 |
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| 仪器中文名 | 多功能离子减薄仪 |
| 仪器英文名 | Leica EM RES102 |
| 型号 | Leica EM RES102 |
| 制造商 | 徕卡 |
| 产地 | 1 |
| 购买年份 | |
| 仪器负责人 | 鞠晶 |
| 可对外开放时间 | 1 |
| 安放地点 | B145 |
| 所在实验室 |
电子显微镜
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| 仪器编号 | |
| 主要规格 |
对无机薄片样品进行离子减薄，使得薄片样品可被透射电子穿过，从而适宜TEM透射电子显微镜观察；对无机块状样品进行离子束抛光、离子束刻蚀，样品表面离子清洗及斜坡切割，便于SEM扫描电子显微镜观察样品内部结构信息。
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| 技术指标 |
具有2把离子枪，离子束能量为0.8keV-10keV，相对位置，可分别±45°倾斜，样品台倾斜角度-120°至 210°，离子束加工角度0°至90°，样品平面摆动角度<360°，垂直摆动距离±5mm；可选配样品台：TEM样品台（?3.0mm或?2.3mm），FIB样品清洗台，SEM样品台，斜坡切割样品台（对样品35°或90°斜坡切割）等； SEM样品台可容纳最大样品尺寸：直径25mm，高度12mm；全无油真空系统，样品室带有预抽室，保证样品交换时间<1分钟；全电脑控制，触摸屏操作界面，内置视频观察系统，可实时观察样品处理过程。
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| 功能 |
对无机薄片样品进行离子减薄，使得薄片样品可被透射电子穿过，从而适宜TEM透射电子显微镜观察；对无机块状样品进行离子束抛光、离子束刻蚀，样品表面离子清洗及斜坡切割，便于SEM扫描电子显微镜观察样品内部结构信息。
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| 应用范围 |
这一款独立的桌面型设备集 TEM，SEM和LM样品制备功能于一体， 对于TEM样品的离子束减薄，通常离子束以一个较低的入射角度轰击到样品表面，起到样品表面抛光作用，直到将薄片样品被研磨至电子束透明为止；SEM样品制备包含样品表面离子清洁，离子束抛光和衬度增强。
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| 主要附件 | |
| 收费标准 |
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| 检测说明 |
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| 备注 |
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