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| 仪器中文名 | 匀胶机（白光区） |
| 仪器英文名 | Spin Coater（white area） |
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| 仪器负责人 | |
| 可对外开放时间 | |
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| 所在实验室 | 分子材料与纳米加工 |
| 仪器编号 | |
| 主要规格 | |
| 技术指标 | Ⅰ档 调速范围：500-2500 RPM 匀胶时间：2-18 s Ⅱ档 调速范围：1000-8000 RPM 匀胶时间：3-60 s 转速稳定度：±1% , 胶的均匀性：±3% . 真空泵抽气速率 ≥60 L/min 适用于：Φ5-Φ102 mm 硅片及其它材料等基片匀胶 |
| 功能 | |
| 应用范围 | |
| 主要附件 | |
| 收费标准 | |
| 检测说明 | |
| 备注 |
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