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| 仪器中文名 | 紫外臭氧清洗机 |
| 仪器英文名 | Ultraviolet Ozone Washer |
| 型号 | UVO5 |
| 制造商 | 华仪行科技 |
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| 仪器负责人 | |
| 可对外开放时间 | |
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| 所在实验室 | 分子材料与纳米加工 |
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| 主要规格 | UV 灯源，波长 185nm 和 254nm。 |
| 技术指标 | 上置式样品台设计，样品台能加热到260摄氏度； 带进&出气口双气路设计，可接入氧气，增加臭氧产量 |
| 功能 | 紫外光产生臭氧能快速去除大多数无机基材上的有机污染物，清除来自SPTs、AFM尖端和表面的分子污染固化UV胶。 |
| 应用范围 | 清洗比如石英、硅、金、镍、铝、砷化镓、氧化铝等无机基材。 |
| 主要附件 | |
| 收费标准 | |
| 检测说明 | |
| 备注 |
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