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| 仪器中文名 | 小型复合镀金属镀碳系统 |
| 仪器英文名 | Combined Sputtering and Carbon Coating System |
| 型号 | Q150T ES plus |
| 制造商 | Quorum |
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| 仪器负责人 | |
| 可对外开放时间 | |
| 安放地点 | |
| 所在实验室 | 分子材料与纳米加工 |
| 仪器编号 | |
| 主要规格 | 靶材2" |
| 技术指标 | 真空 ~5x10E-6 torr |
| 功能 | 配备膜厚晶振可以对膜厚进行精确的控制。设备采用触摸屏控制，过程全自动操作。 |
| 应用范围 | 1、将石墨蒸镀到样品表面形成薄膜； 2、将Au、Pt、Cr、Bi、Ti、Ni、Ir、W、Al、ITO等靶材溅射到样品表面形成薄膜； |
| 主要附件 | |
| 收费标准 | |
| 检测说明 | |
| 备注 |
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