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| 仪器中文名 | 台阶仪 |
| 仪器英文名 | Stylus Profiler |
| 型号 | DektakXT |
| 制造商 | Bruker |
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| 可对外开放时间 | |
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| 所在实验室 | 分子材料与纳米加工 |
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| 主要规格 | 三维扫描功能模块，彩色可变焦摄像头 |
| 技术指标 | 1. 载片台直径尺寸：6"； 2. 探针扫描长度为50 μm到55 mm； 3. 垂直测量范围：＜1mm ； 4. 探针曲率半径：2μm 5. 探针压力：1-15mg 重复性：3.5a@1μm标样 |
| 功能 | 用于测量台阶高度和薄膜表面形貌, 测量参数包括有：深度、台阶高度、 粗糙度、 波痕、 斜度、平度、 距离、轮廓支承长度率、曲率半径等。 |
| 应用范围 | 测量深度、台阶高度、表面纹理, 可应用于ITO等薄膜、太阳能电池刻蚀、、金属蚀刻速率的均匀性、LED外延缺陷检测、太阳能板形貌、硅片减薄形貌、圆角测试、焊点高度等。 |
| 主要附件 | 纤维金刚石探针 |
| 收费标准 | |
| 检测说明 | |
| 备注 |
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