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| 仪器中文名 | 椭偏仪 |
| 仪器英文名 | Phase Modulation Ellipsometer |
| 型号 | UVISEL plus |
| 制造商 | Horiba |
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| 仪器负责人 | |
| 可对外开放时间 | |
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| 所在实验室 | 分子材料与纳米加工 |
| 仪器编号 | |
| 主要规格 | 75w氙灯 |
| 技术指标 | - 8 种微光斑尺寸，包括50um,100um，1mm三种针孔尺寸； - 最小消色差光斑为 35 μm； - 测角范围 35° - 90°； - 测量范围：Psi=0°- 90°,Delta=0°-360°； - 配置色散公式≥31个，材料模型≥300个； - 光谱范围覆盖190nm-2100nm。 |
| 功能 | UVISEL椭偏仪集成多种自动功能,具有多种模型：NK模型、柯西模型、EMA模型，测量模式有基态上的非原位操作和腔体原位操作， 可以进行薄膜厚度，材料分布情况以及材料本征的特征光学参数测量，同时可拓展其他测试模组。 |
| 应用范围 | 薄膜光学器件特性测量，膜厚及光学参数标定。 |
| 主要附件 | |
| 收费标准 | |
| 检测说明 | 样品样品：膜层透明，衬底不透明，表面平整。 |
| 备注 |
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